NS系列高精度探針接觸式臺階儀單拱龍門式設計,結構穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
NS系列探針式薄膜厚度臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數)、膜層厚度及應力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質量管控提供可靠數據支持。
NS系列高精度探針式臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。單拱龍門式設計,結構穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。
NS系列探針式接觸臺階高度儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數的準確表征,對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
NS系列國產高精度臺階儀采用了磁吸式測針,當需要執(zhí)行換針操作時,可現場快速更換掃描測針,并根據軟件中的標定模塊進行快速標定,確保換針后的精度和重復性,減少維護煩惱。
中圖儀器國產臺階儀NS系列是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。
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