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VT6000大傾角超清納米共聚焦測量顯微鏡用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它是基于光學共軛共焦原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

中圖儀器VT6000高分辨率共聚焦成像顯微鏡系統(tǒng)基于光學共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析。

VT6000共軛共焦顯微鏡測量技術基于光學共軛共焦原理，以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000系列3D微觀形貌共聚焦顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，3D 建模算法等，對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。

VT6000共聚焦陡峭角度測量顯微鏡以共聚焦技術為原理，用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。

VT6000三維共聚焦白光顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。