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SuperViewW1光學粗糙度輪廓儀一體機基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，廣泛應(yīng)用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW1光學三維輪廓測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。數(shù)秒內(nèi)可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。

VJ系列3d線激光輪廓測量儀搭配高精度線激光測頭，結(jié)合高精度圖像分析算法，無接觸掃描3D輪廓成像，實現(xiàn)尺寸的快速精確測量。CNC模式下，只需按下啟動鍵，儀器即可根據(jù)工件的形狀自動定位測量對象、匹配模板、測量評價、報表生成，真正實現(xiàn)一鍵式快速精準測量。

SuperViewW1光學輪廓儀測表面粗糙度的儀器具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1三維光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是基于白光干涉原理研制而成，采用擴展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。

chotest光學輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。